哈爾濱科友半導體6英寸碳化硅襯底正式投產
據粉體圈消息:8月18日,位于哈爾濱新區,投資10億元建設的科友第三代半導體產學研聚集區項目一期正式投產,預計年底全部達產后可形成年產能10萬片6英寸碳化硅襯底的生產能力。
據悉,哈爾濱科友半導體產業裝備與技術研究院有限公司(科友半導體)成立于2018年,是一家專注于第三代半導體裝備研發、襯底制造、器件設計、技術轉移和科研成果轉化的國家級高新技術企業。去年7月,科友半導體產學研聚集區項目正式開工建設。主要建設中俄第三代半導體研究院、中外聯合技術創新中心、科友半導體襯底制備中心、科友半導體高端裝備制造中心、國際孵化基地、科友半導體產品檢驗檢測中心、人工寶石展覽館等項目。項目全部達產后,最終形成年產高導晶片近10萬片,高純半絕緣晶體1000公斤的產能;PVT-SIC晶體生長成套設備年產銷200臺套。
科友半導體研制的碳化硅感應長晶爐已實現99%的部件國產化替代,電阻式長晶爐也具備投產條件。在碳化硅晶體生長方面,科友半導體在6英寸碳化硅單晶厚度上突破32毫米,達到國內領先。同時,在長晶周期、生產成本、晶體良率等方面已經達到并保持國際同行業先進水平。按照企業發展規劃,未來兩年科友半導體將實現年產20萬-30萬片碳化硅襯底的產能,成為全球碳化硅襯底重要供應商之一。
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