山西爍科晶體成功實現8英寸碳化硅晶體小批量量產
近日,電科材料下屬山西爍科晶體有限公司(以下簡稱爍科公司)成功研制出8英寸碳化硅晶體,實現了8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產。
由于碳化硅對溫度及壓力控制有著極其苛刻的要求,而且其本身具有的高硬度、高脆性、低斷裂韌性等特點,都使得大尺寸碳化硅單晶的制備及切割成為非常棘手的問題。
爍科公司專業深耕碳化硅材料領域,經過刻苦攻關,于去年8月研制出8英寸碳化硅晶體,成功解決大尺寸單晶制備的重要難題。近日又再次取得重大突破,實現8英寸N型碳化硅拋光片小批量生產,向8英寸國產N型碳化硅拋光片的批量化生產邁出了關鍵一步,進一步縮小國內外技術差距,為我國碳化硅事業的自主保障能力、自主創新發展夯基固本。
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