碳化硅襯底10年自主創新之路
美國科銳公司作為碳化硅襯底提供商,曾長期壟斷國際市場。2011年,科銳公司發布了6英寸碳化硅晶體,同年,天科合達才開始量產4英寸碳化硅晶體。
2013年,陳小龍團隊開始進行6英寸碳化硅晶體的研發工作,用了近一年的時間,團隊研發的國產6英寸碳化硅單晶襯底問世。測試證明,國產6英寸碳化硅晶體的結晶質量很好,該成果標志著物理所碳化硅單晶生長研發工作已達到國際先進水平,可以為高性能碳化硅基電子器件的國產化提供材料基礎。“雖然起步有點晚,但通過10多年的自主研發,我們與國外的技術差距在逐步縮小。”陳小龍說。作為國內碳化硅晶片生產制造的先行者,天科合達打破了國外壟斷,填補了國內空白,生產的碳化硅晶片不僅技術成熟,還低于國際同類產品價格。
截至2014年3月,天科合達形成了一條年產7萬片碳化硅晶片的生產線,促進了我國第三代半導體產業的持續穩定發展,取得了較好的經濟效益和社會效益。
陳小龍指出,當前碳化硅主要應用于三大領域:高亮度LED、電力電子以及先進雷達,以后還可能走進家用市場,這意味著陳小龍團隊的自主創新和產業化之路還將延續。
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