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碳化硅具有優良的物理和化學性能

文章出處:粉體網網責任編輯:作者:山川人氣:-發表時間:2022-03-22 16:17:00【

去年發布的“‘十四五’規劃和2035年遠景目標綱要”明確提出,我國將加速推動以碳化硅、氮化鎵為代表的第三代半導體新材料新技術產業化進程,催生一批高速成長的新材料企業。

作為第三代半導體代表材料,碳化硅具有優良的物理和化學性能。

力學性能:高硬度(克氏硬度為3000kg/mm2),可以切割紅寶石;高耐磨性,僅次于金剛石。

熱學性能:熱導率超過金屬銅,是Si的3倍,是GaAs的8~10倍,散熱性能好,對于大功率器件非常重要。

化學性能:耐腐蝕性非常強,室溫下幾乎可以抵抗任何已知的腐蝕劑。SiC表面易氧化生成SiO2薄層,能防止其進一步氧化,在高于1700℃時,這層氧化膜熔化并迅速發生氧化反應。SiC能溶解于熔融的氧化劑物質。

電學性能:4H-SiC和6H-SiC帶隙約是Si的3倍,是GaAs的2倍;其擊穿電場強度高于Si一個數量級,飽和電子漂移速度是Si的2.5倍。4H-SiC的帶隙比6H-SiC更寬。

總之,碳化硅半導體是新一代寬禁帶半導體,它具有熱導率高(比硅高3倍)、與GaN晶格失配小(4%)等優勢,非常適合用作新一代發光二極管(LED)襯底材料、大功率電力電子材料。

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