碳化硅制造過程產生粉塵的作業點較多。粉塵最大的作業點是冶煉干法扒料，分級。制粒車間空氣中懸浮的粉塵粒度大致如下：5μm以下粒子占66.6~92.5%，10μm以上，占4.8%~22%。粉塵中sic占95%以上，sio2含量為0.35%~3.58%。對碳化硅車間進行技術改造。焦炭加工及制粒工序取密閉除塵方法，裝爐工序采取濕料作業方法，獲得了極付款效果

　　碳化硅微粉塵符合tj36-79中“其他粉塵”條件，即游離二氧化硅含量在10%以下，因此濃度標準可定為10mg/m³。車間空氣中生產性粉塵最高容許濃度(tj36-79)有害物名稱 最高容許濃度(mg/m³)，含有10%以上游離二氧化硅的粉塵(石英，石英巖等)① 2.0，石粉塵及含有10%以上石棉的粉塵2.0，含有10%以下的游離二氧化硅的滑石粉塵4.0，玻璃棉及礦渣棉粉塵5.0，含有10%以下游離二氧化硅的水泥粉塵6.0，煙草及茶葉粉塵3.0，含有10%以下游離二氧化硅的煤塵10，其他粉塵②10，鋁，氧化鋁，鋁合金粉塵4.0，有80%以上游離二氧化硅的生產性粉塵，宜不超過1mg/m³。其他粉塵系指游離二氧化硅含量在10%以下，不含有毒物質的礦物性和動植物性粉塵。